MCES防腐標準氣體質量流量控制器描述
MCES 系列防腐蝕 SEMI 標準氣體質量流量控制器 配備 1/4 英寸 VCR 接頭，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，以便輕松升級到真空沉積夾具。控制 128 多種氣體的質量流量或壓力，包括 30 多種腐蝕性氣體。
插入式兼容性。外形包括焊接的 1/4 英寸 VCR 配件，并匹配 124 毫米端到端長度的 SEMI 標準 MFC。
腐蝕性氣體相容性。與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準確。對于 128 種以上的氣體和 20 種自定義氣體混合物，實時控制具有 NIST 可追溯的精度至讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。
易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。
MCES 系列性能（大多數產品）
可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
穩態控制范圍：滿量程的 1% – 100%
標準精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ± 0.8% 和滿量程的 ±0.2%
可選的高精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ±0.4% 或滿量程的 ±0.2%
重復性：滿量程的±0.2%
典型控制響應時間：最快 30 ms
預熱時間： <1 s
MCES/MCVS 系列工作條件
兼容氣體： 128 多種預加載的可選氣體校準
工作溫度： –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力： 160 PSIA
最大壓差： 75 PSID
耐壓： 200 PSIA
用戶可選擇的參考條件（默認）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
MCES防腐標準氣體質量流量控制器設備特點
每個設備都包含
多變量過程測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。
氣體可選性： 從我們氣體列表中的 98 多種預加載 NIST 可溯源氣體校準中選擇您的工藝氣體 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。
用戶可調節的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據需要控制過程變量的快或慢，可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點更改。
用戶可調節標準溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件 ，無需重新校準。
閥門關閉覆蓋和閥門打開覆蓋：利用警報快速排放系統或根據需要停止所有流量。
MCES防腐標準氣體質量流量控制器配件
工藝端口接頭和過濾器
電源
通信電纜和轉換電纜
BB3 和 BB9 多點分線盒
關于我們
深圳市展業達鴻科技有限公司成立于2012年，是一家從事醫療質控儀器,儀表,影像模體銷售和訂制的公司,可為科研、教育、航空、制造業等領域提供完整可靠地解決方案。擁有多個國際的授權資質，數千種進口檢測儀器儀表產品及配件；目前本公司的產品應用于各醫療制造生產企業、科研院所、高等院校、質量技術監督局、疾病預防控制中心、衛生監督所、出入境檢驗檢疫、醫學院及各附屬醫院等領域。公司目前處于快速成長發展階段，主要產品包括：醫學信號模擬器，醫學測試分析儀器，電子儀器儀表，輻射檢測儀器，氣體分析與檢測，客戶需求定制服務等。 我公司本著“誠信，用戶至上”的經營理念，為廣大用戶提供各類質量優良、價格合理的檢測設備。同時，給客戶提供良好的售前及售后服務，在友好的合作中謀求共同發展。
