MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器描述
MCES 系列防腐蝕 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器 配備 1/4 英寸 VCR 接頭，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，以便輕松升級(jí)到真空沉積夾具。控制 128 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力，包括 30 多種腐蝕性氣體。
插入式兼容性。外形包括焊接的 1/4 英寸 VCR 配件，并匹配 124 毫米端到端長(zhǎng)度的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC。
腐蝕性氣體相容性。與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準(zhǔn)確。對(duì)于 128 種以上的氣體和 20 種自定義氣體混合物，實(shí)時(shí)控制具有 NIST 可追溯的精度至讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。
易于集成。 定制過(guò)程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過(guò)程中。
MCES 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）
可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的 1% – 100%
標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ± 0.8% 和滿量程的 ±0.2%
可選的高精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.4% 或滿量程的 ±0.2%
重復(fù)性：滿量程的±0.2%
典型控制響應(yīng)時(shí)間：最快 30 ms
預(yù)熱時(shí)間： <1 s
MCES/MCVS 系列工作條件
兼容氣體： 128 多種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)
工作溫度： –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力： 160 PSIA
最大壓差： 75 PSID
耐壓： 200 PSIA
用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)備特點(diǎn)
每個(gè)設(shè)備都包含
多變量過(guò)程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
用戶可更改的測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。
氣體可選性： 從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。
用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據(jù)需要控制過(guò)程變量的快或慢，可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過(guò)程免受無(wú)意的設(shè)定點(diǎn)更改。
用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件 ，無(wú)需重新校準(zhǔn)。
閥門關(guān)閉覆蓋和閥門打開(kāi)覆蓋：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。
MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器配件
工藝端口接頭和過(guò)濾器
電源
通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜
BB3 和 BB9 多點(diǎn)分線盒
關(guān)于我們
深圳市展業(yè)達(dá)鴻科技有限公司成立于2012年，是一家從事醫(yī)療質(zhì)控儀器,儀表,影像模體銷售和訂制的公司,可為科研、教育、航空、制造業(yè)等領(lǐng)域提供完整可靠地解決方案。擁有多個(gè)國(guó)際的授權(quán)資質(zhì)，數(shù)千種進(jìn)口檢測(cè)儀器儀表產(chǎn)品及配件；目前本公司的產(chǎn)品應(yīng)用于各醫(yī)療制造生產(chǎn)企業(yè)、科研院所、高等院校、質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局、疾病預(yù)防控制中心、衛(wèi)生監(jiān)督所、出入境檢驗(yàn)檢疫、醫(yī)學(xué)院及各附屬醫(yī)院等領(lǐng)域。公司目前處于快速成長(zhǎng)發(fā)展階段，主要產(chǎn)品包括：醫(yī)學(xué)信號(hào)模擬器，醫(yī)學(xué)測(cè)試分析儀器，電子儀器儀表，輻射檢測(cè)儀器，氣體分析與檢測(cè)，客戶需求定制服務(wù)等。 我公司本著“誠(chéng)信，用戶至上”的經(jīng)營(yíng)理念，為廣大用戶提供各類質(zhì)量?jī)?yōu)良、價(jià)格合理的檢測(cè)設(shè)備。同時(shí)，給客戶提供良好的售前及售后服務(wù)，在友好的合作中謀求共同發(fā)展。
